Ionenstrahlätzsysteme
Wenn Werkstoffprobenoberflächen für SEM, AFM oder Auflicht-Mikroskopie vorbereitet werden, durchläuft die Probe normalerweise mehrere Prozesse, bis die zu analysierende Schicht oder Oberfläche präzise bearbeitet wurde. Die Workflow-Lösungen von Leica Microsystems für Festkörpertechnologie decken alle Schritte einer anspruchsvollen, hochwertigen Probenvorbereitung ab.
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Vereinfachen Sie Ihre Probenvorbereitung mit Workflow-Lösungen von Leica Microsystems!
Während das Leica EM TXP alle Schritte der Vorpräparation in einem Gerät vereint, kann mit dem Leica EM TIC 3X die hochwertige endgültige Oberflächenbearbeitung an fast jedem Werkstoff durchgeführt werden. Mithilfe des Transfersystems Leica EM VCT kann die Probe anschließend unter optimalen Bedingungen zum (Kryo-) SEM transferiert werden.
Verbesserte Auflösung beim Ionenstrahlfräsen
Das Ionenstrahlfräsen, auch bekannt als Ionenstrahlätzen, wird eingesetzt, um eine gut vorbereitete Probenqualität für hochauflösende Bildgebung und -analytik zu erzielen. Es entfernt restliche Artefakte vom mechanischen Trennen und Polieren. Die von Ion Beam Etching präparierten ionenpolierten Querschnitte und planaren Proben können für die Elektronenmikroskopie-Bildgebung sowie für Gefügeuntersuchungen wie EDS, WDS, Schnecke und EBSD verwendet werden.
Die EM TIC 3X-Fräsmaschine bietet dreifache Ionenstrahlen, die den Präparationsprozess erheblich beschleunigen und feinste Details und Strukturen auf Probenoberflächen sichtbar machen. Sehen Sie sich das Video an und erfahren Sie, wie Sie mit dem Target Surfacing System EM TXP und dem Ionenstrahl-Frässystem EM TIC 3X die Präparationszeit für IC-Golddrahtbonden verkürzen können.
Schneiden und Polieren
Die Probenvorbereitung beginnt oft mit präzisem Schneiden, Schleifen und Polieren der Oberfläche vor dem Ionenätzen und Beschichten mit Metall/Kohlenstoff. Mit dem Zielpräzisionssystem Leica EM TXP können sämtliche Bearbeitungsschritte unter mikroskopischer Beobachtung ausgeführt werden – vom Diamantschneiden und Fräsen bis hin zum Polieren.
Hochwertige Oberflächenbearbeitung
Das einzigartige Ionenstrahlätzsystem Leica EM TIC 3X ist das Gerät der Wahl für EDS, WDS, Auger und EBSD, da das Ionenstrahlätzen oft die einzige Methode ist, mit der sich bei fast jedem Werkstoff hochwertige Querschnitte und plane Oberflächen erzielen lassen. Bei diesem Prozess werden die inneren Strukturen einer Probe sichtbar, ohne dass sie verformt oder beschädigt werden.
![[Translate to German:] SEM image of the full Li-NMC electrode sample, showing the two porous layers and the metal film at the center of the structure.](/fileadmin/_processed_/2/f/csm_Cross_Section_Ion_Beam_Milling_of_Battery_Components_teaser_8826540a52.jpg "[Translate to German:] SEM image of the full Li-NMC electrode sample, showing the two porous layers and the metal film at the center of the structure.")
