DM12000 M
正立顕微鏡
光学顕微鏡
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Leica Microsystems
DM12000 M 半導体検査顕微鏡(12インチウエハ用)<br>
最新の光学技術で、生産性の改善に貢献
新しいアイデアにより装備されたUV斜め観察法及びマクロ観察法は、より高い解像力を実現しているだけでなく試料の観察及び検査のスピードアップを可能にします。全ての観察法に対応する本体に内蔵されたLED照明は、顕微鏡回りに理想的なエアーフローを可能にするだけでなく、省スペース・省電力などエコに大いに貢献します。
Key Features
マクロモードで快適・正確良好な外観検査
DM12000 M 光学検査用顕微鏡にはマクロモードを組み込み、標準的なスキャニング対物レンズの最大 4 倍の視野を実現しています。このためスキャンエリア全体について欠陥の有無を迅速・正確に検査することができます。
斬新斜め照明観察による超高解像度を実現
i-line UV 照明に斜め照射機能を組み合わせたもので、試料に対して一定のをあらゆる角度から照明を行うことで 3D 超解像度画像を実現し、迅速・容易で効率的な観察を可能にしています。