DM8000 M & DM12000 M 光学検査システム
DM8000 MおよびDM12000 M検査システムで試料をより深く把握することにより、製品の品質に関する判断力を向上させ、時間を節約することができます。
半導体やウエハーのような材料の迅速で信頼性の高い検査と分析を行い、品質管理や欠陥の迅速な検出を可能にします。
微細な構造や欠陥を素早く視覚化
大きなワーク表面の、傷や不純物、コンタミなどの様々な構造や欠陥を検出して分析できます。明視野、暗視野、偏光、微分干渉コントラスト（DIC）、蛍光（Fluo）、赤外(IR)など、豊富な照明・コントラスト方式から選択でき、迅速かつ確実な検査が可能です。紫外線(UV)を光源に利用することで解像度を向上させます。
さらに、斜め照明でより多くの表面情報を得ることができます。UVと組み合わせて、コントラストがさらに高まります。
Plan Fluotar対物レンズ（20倍、50倍、100倍）を利用した暗視野観察により、高いコントラストが得られるため、破面分析でより素早く欠陥を見つけることができます。
明視野明視野と蛍光のオーバーレイ
照明とコントラストを変えて撮影したウエハー表面の画像。右の画像ではコンタミがはっきりと確認できます。
高速での、ワーク全体のオーバービュー画像取得で時間を節約
オプションの0.7倍マクロ対物レンズを使用することで、大きなワークの全体像もステージ移動なく、一目で観察できます。マクロ対物レンズにより、最大約36mmの視野範囲を観察でき、対象エリアの位置出しを素早く実施でき、効率的なスクリーニングが可能になります
42mm以上の高さのあるワークの検査用に、顕微鏡にかさ上げアダプタを取り付けることができます。このアダプタを利用する場合、高さの低いワークの検査にはステージインサートが必要です。
マクロ像 高倍率
パターニングされたウエハーの明視野像
自動化による検査効率と精度アップ
検査や品質管理では、顕微鏡の基本操作を自動化することで、時間の節約やミスを減らすことができます。ボタンひとつで対物レンズが自動交換でき、照明とコントラストも自動調整します。
電動レボルバにより、対物レンズの交換を素早く簡単に行うことができ、時間と労力を節約できます。対物レンズ交換時に手を使わないので、ワークの不純物付着を防ぐことができます。
150倍のVIS-UV対物レンズで解像度を上げることができます。
簡単な操作でワーク検査
直感的でユニークなフォーカス機能により、精度の高いフォーカス調整が可能です。
- ベアウエハーのような反射率の高いワークは、フォーカス調整が困難です。フォーカスファインダー機能を使用して、簡単かつスピーディーにピントを合わせることができます。
- 凹凸のあるワークの観察では対物レンズ交換時に、レンズとワークが衝突してワーク破損のリスクがあります。ライカはフォーカスストップ機構が内蔵されており、不注意による損傷を保護します。
- 同焦点対物レンズにより、倍率を変更したときも、フォーカスを再調整する必要がなく、ピントが合います。
快適な作業で生産性を向上
人間工学に基づいたデザインと、自動化された機能で、広視野の微細構造検査という骨の折れる検査も集中力を維持し、疲労少なく作業できます。
ライカユニークな人間工学デザイン設計の鏡筒や、高さ調整可能なフォーカスノブで、より快適な快適を確保できます。
安全な環境を実現する設計
DM8000 MおよびDM12000 Mは、クリーンルーム内でのクリティカルな検査にもご利用いただけます。
- 導電性素材も静電気放電から保護します。
- 密閉型の電動レボルバは、厳しい環境条件に対応するよう設計されています。
- 可視光・紫外線対応のLED照明を内蔵し、汚染のリスクを低減します。
クリーンルームで顕微鏡周辺の気流を最適化し、気流が乱れないように設計されています。
DM8000 M / DM12000 M 手動
以下のようなニーズには、手動ソリューションをお選びください。
- 週単位の検査頻度
- 中間程度のスループット
- 手動によるワークの位置決め
DM8000 M / DM12000 M 電動
以下のようなニーズには、電動ソリューションをお選びください。
- デイリーでの検査頻度
- 高いスループット
- 複数のユーザーで使用
目的に応じたソリューションを選択できます
DM8000 MおよびDM12000 M顕微鏡は、8インチおよび12インチのウエハを効率的かつ迅速に検査するのに役立ちます。特定の用途のニーズに合わせた専用の構成が用意されています。
| DM8000 M / DM12000 M 手動 | DM8000 M / DM12000 M 電動 |
| 手動によるワークの位置決め | x | x |
| 高コントラストの検査 | x | x |
| 微細構造の視覚化 | x | x |
| 紫外線および斜め紫外線照射 | o | o |
| 自動化と簡単な操作性 | - | x |
x = 標準、o = オプション、 - = 利用不可
