DM6 M LIBS 微細構造の化学分析のためのソリューション
目視検査と化学分析が 1 台の環境で実施できることで、 微細構造の元素同定 に要する時間が、従来の走査型電子顕微鏡（SEM）/エネルギー分散型 X 線分析（EDS）に比べて 90% 節減できます。レーザープラズマ分光機能により、分析試料を適当なサイズに切り出して分析装置の中にセットするなど、前処理なく、顕微鏡で拡大観察した状態で、迅速に分析ができます。
中規模企業として、社内で分析手法を拡張する必要性を感じ、汎用性と使いやすさを評価してDM6M LIBS元素分析ソリューションの導入に至りました。 分析にかかわる専門的知識、手技がなくとも、観察から表面分析、元素の定性分析を実行できます。装置は1年以上使用していますが、期待以上の活躍です。分析時間は短時間で、非常に満足しています。
顕微鏡で拡大観察、元素分析まで可能な one-stop ソリューション
DM6 M LIBS のレーザープラズマ分光機能により、顕微鏡で拡大観察中の微細構造の化学組成をその場で、高速に同定することができます。
微細構造部分を見つけたら、ワンクリックで LIBS 分析を開始できます。
特長
- 電子顕微鏡を用いる従来の手法に比べて、化学分析の時間を 90% 節減できます。
- 視覚、化学情報の双方に基づき、迅速な意思決定ができます。
目視と化学物質検査の2in1
- 2 システムを 1 つに統合、拡大観察と組成分析が 1 台で
- 1 秒で元素分析
- 0 特別な試料作製やセッティングは不要
顕微鏡の接眼レンズまたはカメラを通じて観察中の部位を、ワンクリックで迅速・簡単に分析、評価できます。新しい経験や知識は不要です。 DM6 M LIBS システムの操作風景をビデオでご覧いただけます。
試料作製不要で分析
DM6 M LIBS ソリューションは、従来の分析に比較して、以下のステップが不要になり、90% 時間が節約できます。
- 試料作製と装置間の移動
- システムセットアップ、調整
- 関心領域（ROI）の再探索
シンプルなワークフロー
1 台のシステムで観察と分析が可能になり、結果の分析に集中することができます。
DM6 M LIBS による組成分析の詳細についてはアプリケーションノートを参照してください。
決断を早く
試料の微細構造の組成分析のためのツールを結合することで、正しい意思決定が迅速にできます。
全体の 90% 以上のケースで、次のアクションを迅速・確実に決定（たとえば汚染源の特定のため SEM による詳細分析が必要）するのに十分なデータが得られています。*
*ユーザーからのフィードバックに基づく。
成分の清浄度解析
DM6 M LIBS システムにコンタミ解析用ソフトウェア Cleanliness Expert を組み合わせて、フィルター上試料の目視検査と化学試験を 1 システム、1 つのワークフローで実行することができます。
コンタミ源の同定、検出が容易になります。
より確信のおける結果を
粒子組成と構造の両データを迅速に得ることで、分析中に同定、次のアクション決定を迅速に行うことができます。
微細構造の成分の評価
DM6 M LIBS ソリューションでは材料の相、たとえば鉱物、合金、セラミックスなどの構造解析と元素/化学分析の両方を行うことができます。
従来の試料作製や装置間の移動は必要ありません。解析ワークフロー全体が 1 つの装置で実行されます。
試料作製の手間を最小限に
SEM（走査型電子顕微鏡）/ EDS（エネルギー分散型 X 線分析）分析を最小限に抑えることで、時間とコストを共に節約できます。
材料の深さ方向と層構造分析
LIBS のアブレーション原理を利用して材料への微小穿孔も可能です。
微小穿孔には次のような応用例があります。
- 深度プロファイルの作成
- 層構造分析
- 表面洗浄
深度プロファイルを用いて、各層の組成変化を推定することができます。
層構造分析は材料内の各層の組成分布を推定することができます。層構造を持つ材料の例としては、多層コーティングあるいは塗装した金属が挙げられます。
表面洗浄は酸化物や汚染物を除去するのに用いられます。
LIBS の基本原理
DM6 M LIBS ソリューションは、レーザー誘起ブレークダウン分光法（LIBS） により化学分析を可能にしています。
分析はワンクリックで開始でき、試料表面上にパルスレーザーが発射されます。表面の微量な試料がアブレートされ、遊離電子、励起された原子やイオンを含む高エネルギープラズマ化します。冷却プロセスの間に、原子やイオンの励起された電子は特定のピークでの放射光を発しながら基底状態に戻ります。このプラズマからの放射光は分光器に集められ、各ピークを識別することで、フィルター上試料の化学組成を高速で判別できます
スペクトルはソフトウェアによって元素および化合物の既知のデータセットと照合され、微小構造の成分が同定されます。データセットはユーザーの得た特定材料に関する結果を追加することで拡張できます。
2. プラズマが誘起され、基底状態に戻る際に放射光が発生。
3. 原子の発するスペクトルにより元素が同定。
DM6 M LIBS ソリューション：ライカ インテリジェント顕微鏡
LIBS ソリューションによる迅速な材料分析において、顕微鏡は重要な役割を果たしています。
ライカ DM6 M 金属顕微鏡
- 1.25×～100×の幅広い対物レンズ倍率による観察
- 各種観察方法により材料の微小構造も正確に可視化
- 全自動操作で、どなたでも簡単、精度高く分析を実行できる自由度の高さ
拡張性
お手持ちの顕微鏡に LIBS モジュールを追加し、組成分析できるシステムにアップグレード
ライカの DM6000 M または DM6 M 顕微鏡をお持ちですか？
LIBS モジュールを後付けして、組成分析可能な one-stop ソリューションに特別価格で拡張いただけます。
